原子力显微镜(无)
上海大学
PARK公司,AP-990
上海市
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检测范围

观察抛光固本表面和薄膜表面的表面形貌、价键状态;观察集成电路芯片的光刻质量和掺杂后的电场分布;观察信息存贮材料表面磁场分布磁畴等;可用于微电子集成电路器件的失效分析。

仪器参数

XY平面分辨率:1埃;Z垂直分辨率:0.1埃;扫描范围:20埃--100UM;试样范围:5--50MM?AFM,NC-AFM,STM,MFM,EFM。
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