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精密定位系统(Precision positioning system)
上海师范大学
德国PI公司，*
上海市
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检测范围

精密运动控制：纳米定位压电放大器及控制器、纳米测量、纳米定位技术

仪器参数

X.Y轴主要的移动范围：±22.5mm；Z轴的移动范围：±12.5mm；X，Y轴的角度范围：±7.5度；Z轴的角度范围：±12.5度
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