检测范围
可进行有高真空要求的金属、石英类镀膜。
仪器参数
换分别供三个永磁靶使用。将来可增射频或直流电源。气路：采用三台气体质量流量计来分别控制氩气、氮气和氧气，氩气最大流量为100SCCM，氮气和氧气最大流量为50SCCM，另外配有一套氮气泄漏气路，各气路分别配有截止阀，气路均采用不锈钢管路及附件组成。真空获得及能量 （1）泵抽系统：采用磁悬浮式分子泵和机械泵，分子泵抽速为1080L/S，机械泵抽速为537L/M，在真空室和分子泵之间装有可调节流量的阀门，阀门采用马达控制。机械泵与真空室和分子泵之间有截止阀、并采用不锈钢管和波纹管等连接。
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