检测范围
1．压电陶瓷执行器迟滞研究；2．用于大行程高精度微/纳米定位与控制研究 ；3. 非光滑、非线性系统建模与控制研究。
仪器参数
1.宏动平台（滚珠丝杠）行程：102mm×120mm×102mm 分辨率：0.033um2.微动平台：（压电陶瓷）电压范围：-20~120V;行程：340um×340um×340um（开环），300um×300um×300um（闭环）分辨率：0.5nm（开环），2nm（闭环）空载谐振频率： X：140 Hz ； Y：140Hz ； Z：250Hz100g谐振频率: X：120 Hz ； Y：120Hz ； Z：215Hz30g谐振频率: X：110 Hz ； Y
分享
