自动探针台(Auto Probing Machine)
上海华岭集成电路技术股份有限公司
TSK,UF3000
上海市
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检测范围

12英寸全自动集成电路测试,用于8-12英寸晶圆测试。

仪器参数

UF3000是目前国际上最先进的12英寸全自动探针台。主要指标:误差-2~2um,测试晶圆8-12inch。
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