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自动探针台(Auto Probing Machine)
上海华岭集成电路技术股份有限公司
东京精密电子，UF3000EX-e
上海市
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检测范围

可以提供OCR 标识自动识别，程序控制、自动机械走步，兼容12 英寸/8 英寸晶圆

仪器参数

综合精度：3.6um适用晶圆尺寸：8英寸、12英寸温度范围：常温 ～ 150℃X/Y轴最大速度：500mm/sec
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