检测范围
用于快速非接触的微观三维坚持和微观表面型貌定量分析，以其极高的精密度和准确度定型和定量地反映出样品的表面粗糙度、台阶高度、关键部位的尺寸以及样品的形貌。测量过程精密、高速、非接触，且样品无需特殊处理。应用领域包括半导体、高校科研领域，可以测量动态MEMS设备
仪器参数
1.纵向扫描≤150um，可扩展到20mm。扫描速度≤15um/sec,水平视场最大7*5mm。2.纵向分辨率0.1nm,横向分辨率0.36um～9.5um,与所选物镜有关，垂直扫描速度≤135um/sec，与所选的CCD和扫描模式有关。3.RMS重复精度0.01nm,台阶高度重复精度≤0.1%。
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