检测范围
用于光学非球面镜片面型的非接触快速高精度三维测量，及平面球面的面形、曲率半径的精确测量，进行光学和超精密零件表面的检测和生产过程控制。广泛用于半导体、光学制造、通讯、光学制造、通讯、医疗、航天、汽车制造和消费电子等生产和科研领域。
仪器参数
1.632.8nm激光移相式干涉仪，配1米干涉长度测量系统。2.简单重复精度3nm,表面测量复精度10nm。3.纵向分辨率0.08nm，被测件直径1mm～130mm。轴对称的反射凹面或凸面有测量定点，重量≤5kg，非球面偏高度≤10um，Ro偏离程度≤800um。4.测量口径102mm,变倍比6：1。5.可测非球面镜坡度达800um。6.面型不确定度：≤30°，f/1.0,60nm;≤45°，f/0.71,100nm；≤60°，f/0.58,200nm
分享
