检测范围
运用移相干涉原理，提供高精度的平面面形、球面面形，曲率半径。透过波前、楔角传输波前的测量和分析。广泛用于半导体、光学制造、通讯、光学制造、通讯、医疗、航天、汽车制造和消费电子等生产和科研领域。
仪器参数
1.使用氦氖激光，工作波长为632.8nm，平面最大可测量口径150mm。2.空间取样1K*1K像素。数据采样时间：低分辨率（7幅数据图像）：93ms；高分辨率（13幅数据图像）：173ms3.三平面测试重复精度2.0nm，粗糙度重复精度0.1nm。4.分辨率优于λ/8000，条纹分辨率为180条纹5.平板测量λ/300（2a）；RMS重复性λ/10000(2a)
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