检测范围
可对工件尺寸500mm×150mm内的平面、球面等进行拼接测量，精度优于1/10λ。可对金属、晶体、脆性材料等进行精密的表面抛光加工，实行600mm口径以内的非球面、自由曲面的精密光学面型抛光修正。
仪器参数
1、子孔径拼接（1）工作台尺寸（长×宽） 1000×1000mm（2）最大测量范围 500×150mm（3）测量精度 优于1/10λ（4）纵向行程（X轴） 500mm（5）横向行程（Y轴） 500mm（6）垂直行程（Z轴） 300mm（7）回转工作台最大承载 200kg2、七轴抛光（1）可以对各种金属、晶体、脆性材料进行抛光；（2）工件口径可达600mm
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