检测范围
该仪器是目前世界上新型的扫描电镜，除了具有一般扫描电镜观察样品的表面结构功能以外，还可以在低真空，甚至湿度100%的状况下观察样品表面细微结构，同时在不同电压条件下均具有较高的分辨率。
仪器参数
分辨率：3.5nm；加速电压：1-30Kv；放大倍数：20倍-40万倍；真空度：10-5 Torr；样品移动：x50mm，y50mm，z50mm；倾斜角度：-15度，-75度；电脑控制，加速电压束斑大小连续可调TIFF格式图像存储。
仪器特色&服务特色
该仪器是目前世界上新型的扫描电镜，除了具有一般扫描电镜观察样品的表面结构功能以外，还可以在低真空，甚至湿度100%的状况下观察样品表面细微结构，同时在不同电压条件下均具有较高的分辨率。
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