检测范围
主要应用于半导体材料的掺杂物和杂质的表面分析和深度剖析。其为测小于230质量单位的离子质谱仪.
仪器参数
用于正离子的O2+ 一次离子束1E17 (286)Cr3E11 (0.01)5E11 (0.003)Mn5E12(0.2)1E12 (0.008)Fe1E13 (0.4)5E11 (0.001)Ni1E14 (4)1E12(0.02)Cu1E14 (4)5E12 (0.1)Zn1E15 (6)2E12(0.05)Mo1E14 (7)5E12 (0.15)In1E13 (0.8)1E12 (0.03)W5E13 (7)用于负离子的C
分享
