俄歇电子能谱仪(Auger Electron Spectroscopy)
埃文思材料科技(上海)有限公司
PHI,PHI670
上海市
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检测范围

对未知污染物,极小颗粒沾污的成分识别测定氧化层或者镀层的材质和厚度

仪器参数

可以对最小几十个nm的小区域内,进行化学元素的搜索分析。可以做元素组成的纵向分布分析。
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