检测范围
扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观 扫描电子显微镜 察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的优点是,①有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调;②有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸
仪器参数
高真空二次电子像:不低于3nm @30kV,不低于10nm @3kV。低真空背散射电子像:不低于4.5nm @30kV。加速电压范围:不小于200V~30kV,10V步进连续可调。探针电流范围:不小于0.5pA~5μA,连续可调。放大倍数:范围5x~1,000,000xX射线最小分析工作距离≤8.5mm。图像存储分辨率≥3000×2300像素图像显示分辨率≥1024×768像素
仪器特色&服务特色
医疗器械产品检测