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金相显微镜(LEICA microscope)
宜特（上海）检测技术有限公司（原 宜硕科技（上海）有限公司）
LEICA，INM 100
上海市
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检测范围

A多种成像方式（亮场、暗场成像等）B最大样片尺寸可达8寸，分辨率达0.18umC先进的检测方式可用于硅片其他材料的失效分析及工艺评估

仪器参数

A  CCD自动采集系统B  显微镜调体系统和显微镜控制遥感器系统C  CCD控制器将CCD所采集到的图片信息进行数/模之间的转换系统D  先进的自动拍摄控制软件和自动保存系统
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