检测范围
1.对铜Bonding Wire器件有很好的开封效果，良率高于90%2.开封效率是普通酸开封机台的3~5倍3.通过控制频率来控制单次扫描的深度，且均匀性很好
仪器参数
提供的失效分析软件，控制装置。刻蚀前的机器视觉组件数据输入功能（Ｘ光或者是声扫图像、坐标）对准功能（右、左、对称或者对齐）镜像效应、延伸、压缩、移动、位置角度的自由选择激光源、光束偏转系统。Nd:YAG二极管抽运激光头，带有带有红色激光导航的630-670nm二级激光头。拥有多变焦距和可更换的高精确的捡流计系统。标记区域尺寸：112x112mm。马达驱动的Z轴精确可达到+/-0.01微米。激光辐射安全柜，排除无机或金属颗粒系统。防辐射的玻璃观察窗。尺寸：1250 x
分享
