检测范围
全面开发出各种工艺，用于对使用氟基化学的材料进行各向同性和各向异性蚀刻，其中包括：碳、环氧树脂、石墨、铟、钼、氮氧化物、光阻剂、聚酰亚胺、石英、硅、氧化物、氮化物、钽、氮化钽、氮化钛、钨钛以及钨
仪器参数
1. 高选择性各向异性腐蚀，符合苛刻的制程要求；2. 全自动 一键 操作完全代替手动操作；3. 易于使用的电脑触屏的参数控制和配方输入和存储；4. 晶圆尺寸达8 英寸直径，圆滑、紧凑的设计使用最少的洁净室空间；5. RIE-10NR设计用于蚀刻氮化物、氧化物和任意需要氟基化学的薄膜或基片。其安装在节省空间的平台上的模块化设计，使其成为全世界许多用户的首选系统；
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