聚焦离子束(Focused Ion Beam)
宜特(上海)检测技术有限公司(原 宜硕科技(上海)有限公司)
FEI,FIB 200/800/986
上海市
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检测范围

1.Circuit Secondary Repair/Modify2.Cross-Section3.Failure/Structure Analysis4.TM case sample fabrication

仪器参数

A,电压:Vacc:0.5~30KV  Vext:0~6.5KV  B,分辨率:5nm at 25KeV C, 放大倍率:200~15000倍D,可观察范围:x:0~25mm;y:0~25mm;z:
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