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扫描电镜(SEM)
厦门科技产业化开发建设有限公司
TESCAN，VEGA II EPH
福建省
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检测范围

VEGA II EPH扫描电子显微镜采用钨灯丝电子扫描方式，放大倍数可达100万倍。采用电磁式电子枪自动对中技术，独创的低真空二次电子探测器(LVSTD)，可以提供五种观察影像模式：分辨率模式、景深模式、视野模式、大视野模式，很方便寻找样品位置。

仪器参数

分辨率：高真空（二次电子3.0nm at 30kv，8.0nm at 3kv）
● 放大倍数：4 to 1000000×
● 真空系统：高真空

仪器特色&服务特色

已经为厦门十多家IC企业服务过
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