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微光显微镜(EMMI)
厦门科技产业化开发建设有限公司
reltron，reltron ics-1000pem
福建省
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检测范围

PERFICT PL-S12探针台配备了12英寸载物台，可进行最大12英寸的晶圆测试。配有屏蔽箱和防震桌，具有极高的测试稳定性，同时还具备激光修正能力。载物台具有加热功能，温度可达到300摄氏度，具备水冷功能。高性能的探针座漏电流测量精度可达100fA，低电容测试科达0.1pF。

仪器参数

● 12寸载物台，载物台和平台平整度

仪器特色&服务特色

已经为厦门十多家IC企业服务过
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