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X-光电子能谱仪(Photoelectron Spectroscopy)
黑龙江大学
岛津KRATOS公司，AXIS ULTRA DLD
黑龙江省
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检测范围

用于材料表面的成分和价态的定性、定量分析

仪器参数

XPS能量分辨和灵敏度：PET 上O-C=O 的C 1s的FWHM≤0.68eV时C-H的C 1s强度≥15kcps；UPS能量分辨和灵敏度：Ag费米边20%～80%不低于120meV时Ag 4d计数率不低于1Mcps；AES灵敏度： 10kV／5nA（FRR＝0.4%）时Cu样品LMM峰（918eV）强度不低于500,000cps，与955eV处背景相比，信噪比好于500:1。
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