扩散炉-测试100仪器共享平台

扩散炉(Is improving)
所在单位：	清华大学
品牌/型号：	ASM公司，DFS-175-3-ICC
所在地区：	北京市
仪器说明：	我们目前尚未与清华大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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此设备在700～800℃之间,由二氯氢硅和氨气反应，生成氮化硅薄膜。

生长氮化硅薄膜，工艺温度700～800℃

吴华强微电子所；许军微电子所；陈炜微电子所；钱鹤微电子所；刘泽文微电子所；岳瑞峰微电子所；王喆垚微电子所；蔡坚微电子所；邓宁微电子所；伍晓明微电子所

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