检测范围
用于测量光学薄膜厚度和光学参数。可测量介质SiO2、Si3N4、TiO2、HfO2、Ta2O5等光学薄膜以及多层膜的厚度与光学参数。单层膜或者复杂多层膜的膜厚测量范围为1A~ 40um；氙灯光源覆盖光谱范围：190nm~ 2100nm；可放置的样品厚度范围：1mm~20mm；样品台直径：150mm；标准光斑尺
仪器参数
单层膜或者复杂多层膜的膜厚测量范围为1舿 40um；氙灯光源覆盖光谱范围：190nm~ 2100nm；
仪器特色&服务特色
许军：微电子所 王晓红：微电子所 王敬：微电子所 刘泽文：微电子所 李正操：材料系 陈炜：微电子所 任天令：微电子所 严清峰：化学系
分享
