原子层沉积系统-测试100仪器共享平台

原子层沉积系统(Is improving)
所在单位：	清华大学
品牌/型号：	BENEQ，TFS200-106
所在地区：	北京市
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制备氧化物，如氧化铪、氧化铝、氧化钛、氧化钽等，制备氮化物，如氮化钛、氮化钽等，精确到0.1纳米。

原子层淀积，功率4kW，载气：N2；生长精度：0.1nm，反应温度：25~500C，样品尺寸：20-200mm，生长方式：热沉积/等离子体生长；热源2个，温度25~300C；冷源3个。

北京大学电子系物理电子学研究所，香港中文大学，清华大学化学系，清华大学物理系纳米中心，清华大学微电子学研究所

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