检测范围
? ?电子束曝光机是一台加工设备，其加工目的是在电子束感光胶上制备出纳米级的结构。该设备电子的加速电压达到100KV，扫描速度12MHz，具有10个承片台；因此其具有加工精度高，速度快，自动化程度高等特点，从而具有比较高的工作效率。加工样品不需要掩膜版制备，使得图形能够
仪器参数
型号：日本电子JBX6300FS
加速电压：100KV
扫描频率：12MHZ
可加工最大样品：4英寸
对外服务加工精度：关键尺寸50nm以上
仪器特色&服务特色
校内用户：清华大学化学系、物理系、材料系、环境系、核研院、航院、精仪系、机械系、微电子所、电子系、医学院、工物系、热能系、力学系、建筑系、水利系、土木系、电机系、基础工业训练中心等二十余个院系。校外用户：北京大学、中科院国家纳米中心、半导体所、北航，北理工，中科院物理所、北科大、北化工、北林大、地质大学、成都电子科技大学、上海交通大学、同济大学等多个课题组
分享
