检测范围
热场发射电子枪，配EDAX能谱仪，高真空,系统稳定性好,分辨率高,可用于各种固体材料和器件的表面形貌分析与测量；以及材料的化学成份及相关成份分析。低电压性能稳定,特别适用于单壁碳纳米管等半导体材料的形貌表征.二次电子像有HR，UHR两种分辨率模式，能谱分析包括成分的点
仪器参数
型号：Sirion 200
加速电压：200V－30KV；
分辨率：10KV，1.5nm；1KV，2.5nm；EDAX 能谱仪：133eV，Be－U。 热场发射电子枪，配能谱仪，可用于各种固体材料的表面形貌分析与测量；用于材料的化学成份及相关成份分析。
仪器特色&服务特色
校内用户：清华大学化学系、物理系、材料系、环境系、核研院、航院、精仪系、机械系、微电子所、医学院、工物系、热能系、力学系、建筑系、水利系、土木系、电机系、基础工业训练中心等二十余个院系。校外用户：北京大学、中科院国家纳米中心、北航，北理工，中科院物理所、北科大、北化工、北林大、地质大学、成都电子科技大学、上海交通大学、同济大学等多个课题组
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