检测范围
Tecnai F20场发射透射电镜的特点是分辨率比较高，且配置比较全面: 热场发射灯丝，点分辨率0.24nm，配有EDAX能谱仪和STEM部件，2009年又配置了HAADF探头和可直接采集电子衍射花样的CCD。实验效率高，一次实验可完成高分辨像，电子衍射花样采集，以及HAADF暗场像和成分分析等，
仪器参数
型号：Tecnai F20
加速电压：200KV；点分辨率：0.24nm；
晶格分辨率：0.15nm；Eagle 2k CCD；STEM (HAADF detector)；EDAX能谱仪：B－U。用于固体物质的微观形貌，显微结构和成分分析研究。可实现样品的高分辨透射电子像、扫描透射成像和微区成分的精细分析。高发射电流肖特基场发射电子枪，高束流、长期稳定性。
仪器特色&服务特色
校内用户：清华大学化学系、物理系、材料系、环境系、核研院、航院、精仪系、机械系、微电子所、医学院、工物系、热能系、力学系、建筑系、水利系、土木系、电机系、基础工业训练中心等二十余个院系。校外用户：北京大学、中科院国家纳米中心、北航，北理工，中科院物理所、北科大、北化工、北林大、地质大学、成都电子科技大学、上海交通大学、同济大学等多个课题组
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