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清洗系统(Is improving)
清华大学
弘塑科技有限公司，RCAPre
北京市
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检测范围

设备配有排风管道随时抽走挥发性的溶液设备自动化程度高可以控制温度并且和能够监控温度自动和手动控制每个溶液槽操作细微调节水槽补水、放水、溢流时间面板式按钮操作，直观易操作。

仪器参数

配有四个溶液槽分别为：EKC、丙酮、IPA、DIW工艺温度：70度溶液槽容量：6.5L、6.5L、4.2L、6.5LEKC、丙酮溶液槽配有机械臂

仪器特色&服务特色

校内用户：电子系、化学系、物理系、精仪系、微电子所等；校外用户：北京大学、北京邮电大学、国家纳米中心、中科院半导体所等。
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