刻蚀系统(Is improving)
清华大学
弘塑科技有限公司,NitrideEtch
北京市
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检测范围

设备配有排风管道,随时抽走挥发性的酸碱设备自动化程度高,可以控制温度并且监测温度能够自动和手动控制每个溶液槽操作细微调节水槽补水、放水、溢流时间面板式按钮操作,直观易操作

仪器参数

工艺设定温度:20-25度混合化学药剂溶液:NH4F+HF溶液槽容量:10L

仪器特色&服务特色

校内用户:清华大学化学系、物理系、材料系、环境系、核研院、航院、精仪系、机械系、微电子所、电子系、医学院、工物系、热能系、力学系、建筑系、水利系、土木系、电机系、基础工业训练中心等二十余个院系。校外用户:北京大学、中科院国家纳米中心、半导体所、北航,北理工,中科院物理所、北科大、北化工、北林大、地质大学、成都电子科技大学、上海交通大学、同济大学等多个课题组
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