检测范围
自动显影 误差小，显影效果好。
仪器参数
?EVG101C匀胶机功能设置：旋转卡头和移动喷头旋转卡盘：真空吸盘? ? ? ? ? 转速O-10000min适用衬底尺寸：2" 4"PC软件控制涂胶过程控制参数：卡盘转速[rpm]? ? ? ? ? 涂胶时间[s]用于样品光刻胶涂敷
仪器特色&服务特色
校内用户：清华大学化学系、物理系、材料系、环境系、核研院、航院、精仪系、机械系、微电子所、电子系、医学院、工物系、热能系、力学系、建筑系、水利系、土木系、电机系、基础工业训练中心等二十余个院系。校外用户：北京大学、中科院国家纳米中心、半导体所、北航，北理工，中科院物理所、北科大、北化工、北林大、地质大学、成都电子科技大学、上海交通大学、同济大学等多个课题组
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