检测范围
标准测量功能（AFM及DFM的TOP像）物理特性测量（微粘弹性，切向调制摩擦力，表面电势测量）电特性测量（扫描隧道，电流分布，表面刻蚀，I/V曲线）高真空10－7Torr或气体环境等特殊环境中，测定样品的微观形貌低温（低至－120度）及高温（高至300度）下的SPM测定
仪器参数
样品尺寸：≤Ф35mm？0mm 扫描范围：XY:20μm，150μm，Z:2μm 分辨率：XY方向0.2nm，Z方向0.01nm
仪器特色&服务特色
清华大学，中科院半导体所，国家纳米中心，装甲兵工程学院，北科大物理系，农业大学，首钢研究院等。
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