检测范围
通用型场发射扫描电镜，适用于不挥发、非磁性、致密固体材料的形貌、成分及晶体结构观察与分析。
仪器参数
该设备性能指标：加速电压：500V-30kV：分辨率：1.5nm/15KV，6nm/1kV；束流1pA-4nA；? 能谱仪：能量分辨率：128eV 探测范围：B4-U92？电子背散射衍射：优于10点/秒 ；利用该设备能够进行样品表面形貌分析同时可以进行成分分析和晶体结构分析，可以进行材料（纳米材料、半导体或绝缘体）的阴极发光分析。配置有离子溅射设备，可以溅射Au和C。
仪器特色&服务特色
清华大学 中科院 中国农大 林大 地大
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