检测范围
该仪器可用于样品中微区元素的定性、定量分析。可测试元素的范围为B-U。波谱仪配备四通道、八块晶体（包含测试轻元素的两块晶体），可进行图像观察、元素定性、定量、线扫描、面扫描等测试。测试灵敏度、分辨率、准确度等指标都高于通常的能谱仪。
仪器参数
仪器配置：四通道、八块分光晶体??????????????? （其中包括用于测试B、C、N、O等轻元素的LDE1H、LDE2H晶体）电 子 枪： LaB6分 辨 率：5nm（SEI）加速电压：0.2-30kV探针束流：10-12-10-5A放大倍数：40-30万倍元素范围：B(5)-U(92)
仪器特色&服务特色
清华大学材料学院、机械系、北京科技大学、北京航空航天大学等。
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