Leica RES101离子减薄仪-测试100仪器共享平台

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Leica RES101离子减薄仪(Is improving)
所在单位：	清华大学
品牌/型号：	Bal-Tec公司，RES101
所在地区：	北京市
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主要用于各种固体材料的透射电镜的样品制备中的离子减薄，适用材料如陶瓷材料、半导体材料、多层薄膜材料、金属基复合材料等。该设备除了具有离子减薄的功能外，还可对样品表面进行离子镀膜、表面蚀刻等功能，可用于SEM和TEM样品表面导电处理和EBSD样品表面抛光等。主要性能

主要性能指标：产生离子束电压0.8-10KV

北京科技大学，清华大学，中科院半导体所，钢铁研究总院

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