离子减薄仪(Is improving)
清华大学
GATAN公司,G691
北京市
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检测范围

主要用于制备TEM样品。将切割、手动研磨并高精度凹坑研磨后,得到的厚度小于5μm、直径为3mm的圆片,再离子减薄至厚度为0.1μm

仪器参数

真空度﹤5×10-4Pa高压0.1-6keV可调5keV时最大电流正常具有CCD图像传感器
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