检测范围
非接触式样品表面形貌测量，对样品本身没有损伤，用于材料三维表面轮廓测量和粗糙度测量，台阶高度测量，磨痕深度测量，宽度和体积定量测量，空间分析和表面纹理表征，平面度和曲率测量，二维薄膜应力测量，表面质量和缺陷检测等。
仪器参数
放大倍数为25倍、100倍、500倍垂直扫描范围：30 μm 、100μm、5mm、10mm?? 垂直扫描分辨率：0.01nm分辨率：752×480像素（可选1k×1k ）侧向分辨率：0.11-8.8 μmRMS重复精度：1nm视场范围：8mm×10mm-0.084mm×0.063mm校正精度：＜＜0.1%反射要求：1%-100%
仪器特色&服务特色
清华大学天津高端装备研究院，米格实验室，国防科技大学，河北工业大学，中国石油工程技术学院，装甲兵工程学院，中国民航大学等
分享
