扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope)
西南科技大学
日本精工公司,SPA-300HV
四川省
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检测范围

广泛应用于物理学、材料科学、生命科学、化学等学科。

仪器参数

1.扫描范围:平面最大扫描范围:20μm×20μm  纵向最大扫描高度2μm;
2.分辨率: 横向~0.2nm;纵向~0.01nm;
3.最大尺寸样品:Φ25mm?10mm;
4.测量电流范围:0.05nA~100nA 。
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