检测范围
形态表征观察，定性定量分析
仪器参数
1.分辨率:高真空,1.0nm@15KVSE、1.6nm@1KVSE 低真空:1.5nm@10KVSE、1.8nm@3KVSE。
仪器特色&服务特色
柔性基底太阳能是最近光伏行业研究的热点，其基底的粗糙度一般要达到20nm以下才符合要求。上海珅珂进行了柔性基底的沉积、薄膜太阳能电池的研究。本测试就是研究基底抛光及薄膜覆盖基底的效果。因此，进行了二次电子和背散射测试。由于我们单位没有相送设备来测试，通过上海市研发平台牵线搭桥作用，找到了上海交通大学分析测试中心材料微区分析室扫描电镜组。该机组老师为我们制定了测试方案，利用二次电子和背散射电子表征技术对柔性基底粗糙度和薄膜是否完全覆盖基底进行了测试。用二次电子和背散射电子表征技术抛光后薄膜的粗糙度，沉
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