检测范围
薄膜材料的表面形貌，纳米材料的尺寸大小等
仪器参数
1.扫描器：横向(X－Y)范围90μm#215;90μm;竖直(Z)范围15μm或者40μm 2. 噪声：垂直(Z)方向上的RMS值lt;0.8埃 (平均偏差 (Adev) 在0.1Hz－1kHz 带宽) 3. 样品大小：直径≤100mm, 厚度≤20mm 4.控制器:全数字化、模块化、可编程控制器，其数据处理能力仅仅受限于计算机的的内存大小(允许连续一千万点力曲线和gt;8190 x 8190点高密度像素成像)。允许在5MHz的速度下连续获得200万以上的数据。
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