离子减薄系统
吉林大学
瑞士MT香港有限公司,RES101 , *
吉林省
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检测范围

物理学;化学;材料科学;冶金工程技术;机械工程

仪器参数

气体:氩气;离子能量0.8-10kV;枪倾斜度?45度;样品台移动X轴方向?3mm,旋转0.5-3rpm,倾斜度-5度-210度。制备透射薄膜样品,所制备样品质量高,可获得无任何污染的高清洁度样品。减薄过程中离子能量高低可调。内置视频监视器,直接观察样品减薄情况。
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