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冷场发射扫描电子显微镜
吉林大学
日本电子株式会社，JSM-7500F , *
吉林省
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检测范围

微纳功能器件三维形貌的表征

仪器参数

二次电子成像分辨率：1.0 nm（15kV）、1.4 nm（1kV）放大倍率：x25 – x1000000加速电压：0.1kV – 30 kV
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