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感应耦合等离子高密度刻蚀机
吉林大学
日本ULVAC公司，CE-300I , *
吉林省
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检测范围

感应耦合等离子高密度刻蚀机（ICP）是光电子、微电子、微机械加工和高分子化学等研究方向的重要工艺设备之一。

仪器参数

抗腐蚀大抽速机械泵和分子泵泵组，分子泵抽速不小于400L/s，真空度≤1#215;10－3Pa；射频发生器功率不小于300W，高等离子密度（gt;1#215;1011 cm－3）；温度可调下电极，腔室可承载6英寸基片；4英寸直径SiO2和有机聚合物刻蚀，表面不均匀度≤5%，陡直度≥85#176;
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