扫描探针显微镜
吉林大学
德国布鲁克AXS有限公司,Dimension Icon-PT , *
吉林省
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检测范围

光电器件样品表面形貌及表面粗糙度分析探测

仪器参数

X-Y扫描范围:90 μm * 90 μmZ扫描范围:10 μmX-Y定位误差:≤0.15 nm(闭环) ≤0.10 nm(开环)Z传感器精度:35pm (RMS)
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