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超景深三维显微观测系统(Super Depth 3D Microscopic Observation System)
吉林大学
日本奥林巴斯公司，OLS4100 , *
吉林省
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检测范围

光电器件的超景深三维显微成像

仪器参数

放大倍率：108x – 17280x测量精度：0.02 μm（平面），0.012 μm（高度）载物台行程：100 mm * 100 mm *100 mm
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