电子探针(EMPA)
华南理工大学
岛津(香港)有限公司,EPMA-1600
广东省
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所有仪器

分析仪器

检测范围

材料表面微区(微米级、亚微米级)化学组成的高速定性或定量分析; 材料表面或截面(包括纳米薄膜)的点扫描、线扫描(涂层或梯度结构中成分分布信息)、面扫描(成分面分布图像)分析; 材料表面形貌观察(二次电子像、背散射电子像、断口表面分析;

仪器参数

二次电子像分辨率6nm(30kV),背散射电子像分辨率20nm(15keV);放大倍率:20~50,000 ;加速电压:0~30kV;元素分析范围:4Be 92U;元素微量分析:达10ppm;元素微区分析:达100nm;
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