专家级形貌分析工作站
华南理工大学
德国BMT公司,SMS expert,*
广东省
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所有仪器

物理测试

分析仪器

检测范围

外形尺寸检测;表面平整度测试

仪器参数

横向分辨:3.5μm;纵向分辨:9nm
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