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微纳米综合力学测量系统
华南理工大学
瑞士CMS仪器公司，*,*
广东省
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检测范围

纳米显微硬度测试仪：测试材料显微硬度及弹性模量。 微米划痕仪：测试薄膜材料的膜/基结合力等

仪器参数

纳米显微硬度：载荷，0.5～300mN，重复定位精度，2μm，载荷分辨率，40nN
Berkovich 压头，维氏压头，位移分辨率，0.04nm。
显微划痕：最大载荷，30N，载荷分辨率，0.3mN，最大划痕长度，120mm。
AFM显微镜：X,Y分辨率，1nm，Z
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