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场发射扫描电子显微镜
华南理工大学
荷兰，NOVA NANOSEM 430 *
广东省
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检测范围

粒度膜厚形貌、成分、织构、膜厚、粒度成分织构形貌

仪器参数

1.分辨率：二次电子像
高真空模式：15kV时1.0nm；
            1kV时1.6nm；
            0.2kV时优于5.0nm；
低真空模式：优于1.5nm（30kV）
2.放大倍率：30-300，000
3.加速电压：0.2~30kV
4.电子束流：0.004-20nA，连续可调。
5.样品室真空度：
高真空模式优于1x10-2Pa；低真空模式压力达200Pa。
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