准分子激光器
华南理工大学
广州市华裕电子服务公司,COMPexPro201型 COHERENT牌
广东省
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仪器参数

波长248nm,最大脉冲功率700mJ,平均功率5W,最大重复频率10Hz,脉冲宽度25nS,脉冲-脉冲能量稳定性1%,光斑大小24×10mm,光束发散角3×1mrad
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