激光分子束外延系统-测试100仪器共享平台

激光分子束外延系统
所在单位：	华南理工大学
品牌/型号：	中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司，* *
所在地区：	广东省
仪器说明：	我们目前尚未与华南理工大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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仪器介绍

仪器参数

外延室极限真空优于5*10-8 Pa，真空漏率小于5*10-8 Pa L/S；进样室极限真空优于5*10-5 Pa，真空漏率小于5*10-8 Pa L/S；4个靶位；靶材最大尺寸F70mm；靶与样品间距30~90mm可调；靶材可实现自转，转速5~60转/分，连续可调；基片台可前后移动-20~+30mm；基片可连续回转，转速5~60转/分；基片可电阻丝加热

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